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2019-11-25 16:29 來源：京東作者：京東

內(nèi)容簡介:　　《等離子體技術(shù)與應(yīng)用實(shí)驗(yàn)教程》內(nèi)容涵蓋等離子體技術(shù)典型應(yīng)用和等離子體技術(shù)領(lǐng)域最新進(jìn)展，把等離子體技術(shù)的理論知識與實(shí)踐教學(xué)有機(jī)結(jié)合起來，設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)教學(xué)體系并配套搭建等離子體技術(shù)實(shí)驗(yàn)教學(xué)平臺，培養(yǎng)學(xué)生從事科研工作的興趣，提高學(xué)生的創(chuàng)新意識和能力。全書分為四大部分，第一部分為等離子體基本原理實(shí)驗(yàn)，第二部分為等離子體在材料工程中的應(yīng)用，第三部分為等離子體在微電子中的應(yīng)用，第四部分為等離子體在環(huán)境工程中的應(yīng)用。
　　本書可作為理工科院校材料、物理、化學(xué)、環(huán)境等相關(guān)專業(yè)本科生、研究生的實(shí)驗(yàn)教材，也可供從事等離子體技術(shù)應(yīng)用的工程技術(shù)人員使用和參考。

目錄:第一部分：等離子體基本原理實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)一直流低氣壓放電現(xiàn)象觀察及伏安曲線的測量
實(shí)驗(yàn)二氣體擊穿電壓的測定及帕邢定律驗(yàn)證
實(shí)驗(yàn)三湯森第一電離系數(shù)α及比值α/p的測定
實(shí)驗(yàn)四直流輝光放電等離子體參數(shù)的測量
實(shí)驗(yàn)五射頻等離子體的激發(fā)特性研究
實(shí)驗(yàn)六非磁化微波等離子體電子參數(shù)的測量
實(shí)驗(yàn)七 ECR微波等離子體離子參數(shù)的測量
第二部分:等離子體在材料工程中的應(yīng)用
實(shí)驗(yàn)八微波等離子體化學(xué)氣相沉積實(shí)驗(yàn)--形核研究
實(shí)驗(yàn)九微波等離子體化學(xué)氣相沉積金剛石薄膜實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)十直流等離子體濺射制備碳膜實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)十一微波等離子體燒結(jié)氧化鋁陶瓷實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)十二微波等離子體冶金實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)十三常壓微波等離子體引發(fā)聚合實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)十四微波等離子體射流制備納米硅及其熒光特性研究
實(shí)驗(yàn)十五直流輝光等離子體表面改性實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)十六等離子體滲氮硬化金屬表面實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)十七微波等離子體化學(xué)氣相沉積法低溫合成碳納米管
實(shí)驗(yàn)十八納米TiO2薄膜的微波等離子體改性
實(shí)驗(yàn)十九空心微珠表面磁控濺射鍍金屬銅膜
第三部分:等離子體在微電子中的應(yīng)用
實(shí)驗(yàn)二十 ECR微波等離子體刻蝕加工實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)二十一微波等離子體CVD制備多晶硅薄膜太陽能電池實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)二十二等離子體發(fā)射光譜分析實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)二十三電子束蒸發(fā)鍍膜與薄膜光學(xué)特性分析
第四部分：等離子體在環(huán)境工程中的應(yīng)用
實(shí)驗(yàn)二十四電暈等離子體處理有機(jī)廢水的退色實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)二十五電暈等離子體處理對有機(jī)廢水化學(xué)需氧量(COD)的影響
實(shí)驗(yàn)二十六常壓微波等離子體射流處理有機(jī)工業(yè)廢氣實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)二十七常壓微波等離子體射流處理含硫廢氣實(shí)驗(yàn)
實(shí)驗(yàn)二十八低溫射頻等離子體殺菌消毒實(shí)驗(yàn)

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