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內(nèi)容簡介:    本書的主要包括超精密氣浮支承技術(shù)和精密定位工作臺(tái)電磁直接驅(qū)動(dòng)的基本理論和技術(shù)；超精密氣浮支承的建模、有限元分析方法及其數(shù)值計(jì)算的理論與方法；超精密氣浮定位工作臺(tái)的動(dòng)力學(xué)建模及其動(dòng)態(tài)特性分析；超精密定位工作臺(tái)的定位運(yùn)動(dòng)分析及其控制方法研究。<br>    本書可作為數(shù)字制造設(shè)備、精密加工設(shè)備、精密測量儀器、生物醫(yī)藥裝備等行業(yè)科研技術(shù)人員的參考書，也可作為高等院校相關(guān)專業(yè)的研究生教材。

作者簡介:

目錄:0 緒論<br>0.1 超精密氣浮定位工作臺(tái)簡介<br>0.2 超精密定位工作臺(tái)的發(fā)展概況<br>0.2.1 超精密定位工作臺(tái)的發(fā)展過程<br>0.2.2 國外超精密定位工作臺(tái)技術(shù)的現(xiàn)狀<br>0.2.3 國內(nèi)超精密定位工作臺(tái)技術(shù)的現(xiàn)狀<br>0.3 超精密定位工作臺(tái)的關(guān)鍵技術(shù)<br>0.3.1 定位工作臺(tái)的直線導(dǎo)向技術(shù)<br>0.3.2 定位工作臺(tái)的控制技術(shù)<br>0.3.3 定位工作臺(tái)的驅(qū)動(dòng)技術(shù)<br>0.3.4 定位工作臺(tái)的測量技術(shù)<br>0.3.5 定位工作臺(tái)的材料<br>0.4 本書的研究目的和主要內(nèi)容<br>0.4.1 本書的研究目的<br>0.4.2 本書的主要內(nèi)容<br>1 永磁同步直線電動(dòng)機(jī)的基本原理及其控制<br>1.1 永磁同步直線電動(dòng)機(jī)的結(jié)構(gòu)和工作原理<br>1.1.1 基本結(jié)構(gòu)<br>1.1.2 工作原理<br>1.2 直線電動(dòng)機(jī)的建模與分析<br>1.2.1 永磁同步直線電動(dòng)機(jī)的數(shù)學(xué)模型<br>1.2.2 永磁同步直線電動(dòng)機(jī)中的磁場<br>1.2.3 永磁同步直線電動(dòng)機(jī)的電磁參數(shù)<br>1.2.4 永磁同步直線電動(dòng)機(jī)的d-a印軸模型和推力<br>1.3 交流永磁同步直線電動(dòng)機(jī)的控制<br>1.3.1 傳統(tǒng)控制策略<br>1.3.2 現(xiàn)代控制策略<br>1.3.3 智能控制策略<br>1.4 本章小結(jié)<br>2 氣浮軸承模型及有限元分析法<br>2.1 靜壓氣浮支承潤滑系統(tǒng)概述<br>2.1.1 靜壓氣浮支承潤滑系統(tǒng)的組成<br>2.1.2 靜壓氣浮軸承的節(jié)流形式<br>2.1.3 靜壓氣浮軸承的節(jié)流原理<br>2.1.4 氣浮導(dǎo)軌的類型<br>2.2 氣浮軸承潤滑問題的描述<br>2.2.1 小孔流量節(jié)流公式<br>2.2.2 雷諾方程式<br>2.2.3 氣浮軸承潤滑問題的變分表示法<br>2.3 用有限元法解氣浮軸承的靜壓潤滑問題<br>2.3.1 有限元的劃分與插值函數(shù)<br>2.3.2 氣浮軸承潤滑方程的有限元法<br>2.3.3 有限元的計(jì)算過程<br>2.4 氣浮軸承的靜壓潤滑穩(wěn)定性<br>2.4.1 影響氣浮軸承穩(wěn)定性的因素<br>2.4.2 提高氣浮軸承穩(wěn)定性的措施<br>2.5 本章小結(jié)<br>3 氣浮軸承動(dòng)力學(xué)建模與參數(shù)辨識(shí)<br>3.1 氣浮軸承的主要性能參數(shù)<br>3.1.1 氣浮軸承的靜態(tài)特性及主要參數(shù)<br>3.1.2 氣浮軸承的動(dòng)態(tài)特性及主要參數(shù)<br>3.2 氣浮軸承性能參數(shù)的仿真計(jì)算與辨識(shí)<br>3.2.1 氣浮軸承性能參數(shù)的辨識(shí)方法<br>3.2.2 矩形氣浮軸承的特性及主要參數(shù)辨識(shí)<br>3.2.3 環(huán)形氣浮軸承的特性及主要參數(shù)辨識(shí)<br>3.3 氣浮軸承參數(shù)的實(shí)驗(yàn)辨識(shí)方法<br>3.3.1 靜態(tài)測試方法<br>3.3.2 動(dòng)態(tài)測試方法<br>3.4 本章小結(jié)<br>4 氣浮軸承動(dòng)力學(xué)性能參數(shù)分析<br>4.1 結(jié)構(gòu)形狀對(duì)性能參數(shù)的影響<br>4.1.1 分析方法<br>4.1.2 仿真模型<br>4.1.3 有限元計(jì)算結(jié)果與分析比較<br>4.1.4 結(jié)構(gòu)形狀與性能參數(shù)之間的關(guān)系<br>4.2 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)對(duì)性能參數(shù)的影響<br>4.2.1 節(jié)流孔直徑的影響<br>4.2.2 節(jié)流孔高度的影響<br>4.2.3 壓力腔高度的影響<br>4.2.4 壓力腔寬度的影響<br>4.2.5 壓力腔長度的影響<br>4.2.6 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)參數(shù)與性能參數(shù)之間的關(guān)系<br>4.3 工藝參數(shù)對(duì)性能參數(shù)的影響<br>4.3.1 氣膜厚度的影響<br>4.3.2 供氣壓力的影響<br>4.3.3 工藝參數(shù)與性能參數(shù)之間的關(guān)系<br>4.4 本章小結(jié)<br>5 超精密氣浮定位工作臺(tái)動(dòng)力學(xué)特性研究<br>5.1 氣浮定位工作臺(tái)的數(shù)學(xué)模型<br>5.1.1 氣浮定位工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)<br>5.1.2 氣浮定位工作臺(tái)的動(dòng)力學(xué)模型<br>5.2 動(dòng)力學(xué)參數(shù)的求解<br>5.3 動(dòng)態(tài)特性的仿真分析<br>5.3.1 系統(tǒng)幅值的仿真計(jì)算<br>5.3.2 固有頻率的計(jì)算<br>5.3.3 外力對(duì)定位工作臺(tái)動(dòng)態(tài)特性的影響<br>5.3.4 剛度對(duì)定位工作臺(tái)動(dòng)態(tài)特性的影響<br>5.4 超精密氣浮定位工作臺(tái)動(dòng)態(tài)參數(shù)的實(shí)驗(yàn)研究<br>5.4.1 非氣浮狀態(tài)下的動(dòng)態(tài)特性實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析<br>5.4.2 氣浮狀態(tài)下的動(dòng)態(tài)特性實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析<br>5.4.3 基座中心至氣浮軸承中心的傳遞函數(shù)分析<br>5.4.4 y向直線電動(dòng)機(jī)的定子至動(dòng)子的傳遞函數(shù)分析<br>5.4.5 頻率對(duì)剛度參數(shù)靈敏度的影響<br>5.4.6 直線電動(dòng)機(jī)系統(tǒng)多參數(shù)靈敏度分析與優(yōu)化<br>5.5 本章小結(jié)<br>6 超精密氣浮定位工作臺(tái)定位精度研究<br>6.1 氣浮定位工作臺(tái)直線運(yùn)動(dòng)的數(shù)學(xué)模型<br>6.2 混合趨近律的滑模變結(jié)構(gòu)控制模型的建立與仿真<br>6.2.1 滑動(dòng)模態(tài)及滑模變結(jié)構(gòu)控制的基本概念<br>6.2.2 滑模變結(jié)構(gòu)控制仿真模型的建立<br>6.2.3 基于混合趨近律的滑模變結(jié)構(gòu)控制方法<br>6.2.4混合趨近律的滑模變結(jié)構(gòu)控制方法的仿真<br>6.3 定位工作臺(tái)輸出位移的仿真實(shí)驗(yàn)與精度分析<br>6.3.1 輸出位移的仿真實(shí)驗(yàn)<br>6.3.2 控制精度的分析<br>6.4 超精密氣浮定位工作臺(tái)的定位精度實(shí)驗(yàn)<br>6.4.1 實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)及測量系統(tǒng)<br>6.4.2 水平直線度的實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析<br>6.4.3 垂直直線度的實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析<br>6.4.4 非氣浮狀態(tài)下的定位精度實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析<br>6.4.5 氣浮狀態(tài)下的定位精度實(shí)驗(yàn)結(jié)果與分析<br>6.5 本章小結(jié)<br>參考文獻(xiàn)