編輯推薦:    《可重入制造系統(tǒng)的控制》可以為從事可重入系統(tǒng)控制等領(lǐng)域研究的科研人員、半導(dǎo)體企業(yè)信息化咨詢顧問和項(xiàng)目實(shí)施工程師等提供參考與幫助；也可以作為機(jī)械工程、工業(yè)工程、自化、計(jì)算機(jī)工程、管理工程等相關(guān)專業(yè)的研究生和高年級(jí)本科生的教材和參考書。

內(nèi)容簡(jiǎn)介:    本書主要從可重入制造系統(tǒng)的控制體系結(jié)構(gòu)、控制方法和控制性能分析方法等角度對(duì)可重入制造系統(tǒng)控制問題進(jìn)行介紹。重點(diǎn)介紹可重入制造系統(tǒng)的分層自適應(yīng)控制體系結(jié)構(gòu)、分層協(xié)同控制技術(shù)、重調(diào)度控制技術(shù)、預(yù)測(cè)控制系統(tǒng)控制的實(shí)驗(yàn)證平臺(tái)和在企業(yè)車間的信息化系統(tǒng)進(jìn)行介紹。實(shí)例驗(yàn)證表明，本書提出的方法和技術(shù)可能效減少晶圓在制品庫(kù)存，縮短晶圓產(chǎn)品交貨期，提高半導(dǎo)體生產(chǎn)線的整體設(shè)備利用率，提高半導(dǎo)體企業(yè)的市場(chǎng)響應(yīng)速度。<br>    本書可以為從事可重入系統(tǒng)控制等領(lǐng)域研究的科研人員、半導(dǎo)體企業(yè)信息化咨詢顧問和項(xiàng)目實(shí)施工程師等提供參考與幫助；也可以作為機(jī)械工程、工業(yè)工程、自化、計(jì)算機(jī)工程、管理工程等相關(guān)專業(yè)的研究生和高年級(jí)本科生的教材和參考書。

作者簡(jiǎn)介:

目錄:前言<br>第1章 緒論<br>1.1 制造系統(tǒng)<br>1.1.1 制造系統(tǒng)的概念<br>1.1.2 柔性制造系統(tǒng)<br>1.1.3 敏捷制造系統(tǒng)<br>1.1.4 網(wǎng)絡(luò)化制造系統(tǒng)<br>1.1.5 可重入制造系統(tǒng)<br>1.2 制造系統(tǒng)的信息化<br>1.2.1 信息化<br>1.2.2 制造系統(tǒng)作息化的定義與特點(diǎn)<br>1.2.3 制造系統(tǒng)的信息模型<br>1.2.4 可重入制造系統(tǒng)的信息化模型<br>1.3 制造系統(tǒng)的控制<br>1.3.1 制造系統(tǒng)控制的目的及意義<br>1.3.2 制造系統(tǒng)的控制體系結(jié)構(gòu)<br>1.3.3 制造系統(tǒng)的控制方法<br>1.3.4 制造系統(tǒng)控制的性能分析方法<br>1.3.5 可重入制造系統(tǒng)的控制<br>1.4 本書的主要內(nèi)容<br>1.5 本章小結(jié)<br>參考文獻(xiàn)<br><br>第2章 半導(dǎo)體制造系統(tǒng)介紹<br>2.1 概述<br>2.2 半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略意義<br>2.3 半導(dǎo)體制造系統(tǒng)工藝<br>2.3.1 半導(dǎo)體單晶硅片制備工藝<br>2.3.2 半導(dǎo)體制造前道工藝<br>2.3.3 半導(dǎo)體制造后道工藝<br>2.3.4 可重入制造系統(tǒng)的工藝范圍<br>2.4 半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的組成及特點(diǎn)<br>2.4.1 半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的構(gòu)成<br>2.4.2 半導(dǎo)體制造系統(tǒng)的特點(diǎn)<br>2.5 可重入制造系統(tǒng)控制的需求<br>2.6 本章小結(jié)<br>參考文獻(xiàn)<br><br>第3章 可重入制造系統(tǒng)的分層自適應(yīng)控制系結(jié)構(gòu)<br>3.1 概述<br>3.2 可重入制造系統(tǒng)的控制體系結(jié)構(gòu)研究現(xiàn)狀<br>3.2.1 集中式控制體系結(jié)構(gòu)<br>3.2.2 遞階式控制體系結(jié)構(gòu)<br>3.2.3 分布式控制體系結(jié)構(gòu)<br>3.3 可重入制造系統(tǒng)的分層適應(yīng)控制機(jī)制<br>3.3.1 可重入制造系統(tǒng)的控制功能<br>3.3.2 可重入制造系統(tǒng)的控制機(jī)制<br>3.4 可重入制造系統(tǒng)的分層自適應(yīng)控制體系結(jié)構(gòu)<br>3.4.1 可重入制造系統(tǒng)控制體系結(jié)構(gòu)構(gòu)成<br>3.4.2 可重入制造系統(tǒng)控制體系結(jié)構(gòu)的特點(diǎn)<br>3.5 本章小結(jié)<br>參考文獻(xiàn)<br><br>第4章 可重入制造系統(tǒng)控制方法基礎(chǔ)<br>4.1 概述<br>4.2 運(yùn)籌學(xué)<br>4.2.1 概述<br>4.2.2 運(yùn)籌學(xué)在RMS中的應(yīng)用<br>4.3 啟發(fā)式規(guī)則<br>4.3.1 概述<br>4.3.2 啟發(fā)式規(guī)則在RMS中的應(yīng)用<br>4.4 人工智能方法<br>4.4.1 人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)<br>4.4.2 模糊邏輯<br>4.4.3 基于Agent的方法<br>4.4.4 人工智能方法在RMS中的應(yīng)用<br>4.5 計(jì)算智能方法<br>4.5.1 概述<br>4.5.2 遺傳算法<br>4.5.3 計(jì)算智能方法在RMS中的應(yīng)用<br>4.6 群體智能方法<br>4.6.1 概述<br>4.6.2 螞蟻算法<br>4.6.3 群體智能方法在RMS中的應(yīng)用<br>4.7 仿真方法<br>4.7.1 概述<br>4.7.2 仿真方法分類<br>4.7.3 仿真建模理論<br>4.7.4 仿真建模軟件<br>4.7.5 仿真方法在RMS中的應(yīng)用<br>4.8 本章小結(jié)<br>參考文獻(xiàn)<br><br>第5章 可重入制造系統(tǒng)的分層協(xié)同控制技術(shù)<br>5.1 概述<br>5.2 系統(tǒng)層協(xié)同控制技術(shù)<br>5.2.1 系統(tǒng)層控制問題描述<br>5.2.2 系統(tǒng)層協(xié)同控制Agent模型<br>5.2.3 基于組合拍賣的協(xié)同控制算法<br>5.3 設(shè)備組層協(xié)同控制技術(shù)<br>5.3.1 設(shè)備組層控制問題描述<br>5.3.2 設(shè)備組層協(xié)同控制Agent模型<br>5.3.3 基于GPGP-CN的協(xié)同控制算法<br>5.4 實(shí)例分析<br>5.4.1 系統(tǒng)層協(xié)同控制實(shí)例分析<br>5.4.2 設(shè)備層協(xié)同控制實(shí)例分析<br>5.5 本章小結(jié)<br>參考文獻(xiàn)<br><br>第6章 可重入制造系統(tǒng)的重調(diào)度控制技術(shù)<br>6.1 概述<br>6.2 重調(diào)度控制研究現(xiàn)狀分析<br>6.3 重調(diào)度控制問題分析<br>6.3.1 干擾分析<br>6.3.2 重調(diào)度控制策略<br>6.3.3 重調(diào)度控制策略評(píng)價(jià)指標(biāo)<br>6.4 基于FNN的重調(diào)度控制技術(shù)<br>6.4.1 FNN的輸入層變量描述<br>6.4.2 FNN的結(jié)構(gòu)<br>6.4.3 學(xué)習(xí)算法<br>6.5 實(shí)例分析<br>6.6 本章小結(jié)<br>參考文獻(xiàn)<br><br>第7章 可重入制造系統(tǒng)的預(yù)測(cè)控制技術(shù)<br>7.1 概述<br>7.2 常用預(yù)測(cè)技術(shù)<br>7.2.1 自回歸模型預(yù)測(cè)方法<br>7.2.2 混沌預(yù)測(cè)方法<br>7.3 可重入制造系統(tǒng)日產(chǎn)出預(yù)測(cè)問題<br>7.3.1 可重入制造系統(tǒng)日產(chǎn)出預(yù)測(cè)問題描述<br>7.3.2 可重入制造系統(tǒng)日產(chǎn)出預(yù)測(cè)系統(tǒng)框架<br>7.4 基于遺傳小波神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的預(yù)測(cè)<br>7.4.1 基于遺傳小波神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的預(yù)測(cè)模型<br>7.4.2 基于遺傳小波神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的學(xué)習(xí)算法<br>7.4.3 預(yù)測(cè)算法評(píng)價(jià)指標(biāo)<br>7.4.4 預(yù)測(cè)算法的實(shí)例分析<br>7.5 基于相空間重構(gòu)和螞蟻-神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的預(yù)測(cè)<br>7.5.1 基于相空間重構(gòu)的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)預(yù)測(cè)模型<br>7.5.2 基于相空間重構(gòu)的螞蟻神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)學(xué)習(xí)算法<br>7.5.3 預(yù)測(cè)算法的實(shí)例分析<br>7.6 預(yù)測(cè)控制機(jī)制<br>7.6.1 預(yù)測(cè)控制問題描述<br>7.6.2 基于產(chǎn)出量和WIP預(yù)測(cè)的控制機(jī)制<br>7.6.3 基于循環(huán)周期預(yù)測(cè)的控制機(jī)制<br>7.7 本章小結(jié)<br>參考文獻(xiàn)<br><br>第8章 可重入制造系統(tǒng)的物流控制技術(shù)<br>8.1 概述<br>8.2 可重入制造系統(tǒng)中的物流系統(tǒng)<br>8.2.1 AMHS系統(tǒng)概述<br>……<br>第9章 可重入制造系統(tǒng)的性能分析技術(shù)<br>第10章 可重入制造系統(tǒng)的試驗(yàn)平臺(tái)<br>第11章 半導(dǎo)體制造系統(tǒng)控制軟件及應(yīng)用<br>參考文獻(xiàn)