本書系統(tǒng)地介紹了如何將傳熱學(xué)知識應(yīng)用到微電子系統(tǒng)的散熱設(shè)計與管理中,重點(diǎn)闡述了熱工程師解決熱問題的工程邏輯,引導(dǎo)讀者由淺入深地完成學(xué)習(xí)。全書共分8章。前3章介紹傳熱學(xué)的基本知識,通過繪制熱圖像的方式引導(dǎo)讀者理解導(dǎo)熱微分方程背后的物理意義。第4、5章講述如何從定性熱分析過渡到半定性半定量分析,即采用熱阻網(wǎng)絡(luò)的方法分析微電子工程、工藝中的熱問題。第6章介紹有限元方法的特點(diǎn)以及如何開展正確的數(shù)值分析。第7章介紹常見的熱測量方法。第8章介紹非穩(wěn)態(tài)導(dǎo)熱問題。
本書適用于本科生、研究生階段的教學(xué),適用專業(yè)包括微電子技術(shù)、電子封裝技術(shù)、微機(jī)電工程等與微電子制造相關(guān)的專業(yè)。